金屬誘導橫向結晶多晶硅薄膜晶體管熱載流子應力退化特性及模型研究

低溫多晶硅薄膜晶體管(LTPS TFT)廣泛應用于平板顯示。從開態和關態兩個方面,研究了熱載流子(HC)應力下,N型金屬誘導橫向結晶(MILC) LTPST TFT器件退化特性及模型。

金屬誘導橫向結晶多晶硅薄膜晶體管熱載流子應力退化特性及模型研究

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